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廣州CMP中鈰基拋光粉的制備及應(yīng)用。

來源：m.lxdt.com.cn  |  發(fā)布時間：2022年06月08日
  廣州CMP中鈰基拋光粉的制備及應(yīng)用。

  由于對高精度光學(xué)透鏡和集成電路化學(xué)機械拋光的嚴格要求，越來越多的人關(guān)注鈰基拋光粉的制備和應(yīng)用。為了提高其拋光性能和方法的經(jīng)濟可行性，采用合適的方法制備了鈰基拋光粉。以大顆粒水合丙酸鈰結(jié)晶為前體，通過簡單的煅燒合成納米級氧化鈰。研究了煅燒溫度對合成產(chǎn)物的物理性能的影響。


鈰基拋光粉


  結(jié)果表明，在丙酸鈰的熱分解過程中，大晶體被解理成條狀，然后斷裂成較小的納米氧化鈰。用激光散射法測得的中位粒徑先減小，再增大，小值為460nm。XRD、SEM和TEM在1000℃時的觀察結(jié)果表明，在這個溫度下，煅燒得到一個粒子為20-30nm的立方體螢石氧化鈰；隨著煅燒溫度的升高，它們對冠玻璃(K_9)和燧石玻璃(F_1)的拋光速率顯著增加1000℃。拋光顆粒的濃度與氧化劑的濃度有關(guān)。摻硼立方螢石氧化鈰和Ce_(1-x)Ti_o_2復(fù)合氧化物可以通過將丙酸鈰晶體與適量的硼酸或硫酸鈦混合而獲得。隨著煅燒溫度或摻雜量的增加，提高了產(chǎn)品的密度或顆粒球形，提高了玻璃的拋光能力。證明在氧化鈰中摻雜B和Ti會導(dǎo)致粒子球形化，提高拋光能力。

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